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設備名稱:半導體器件全自動超聲波清洗機

設備型號:FWA-320EB
清洗對象:晶圓環、晶片盒、晶片框、托盤
使用廠家:記憶科技

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詳細參數 Parameter

清洗產品:

產品類型1,晶圓環,200只,每筐20圈,4.5小時

Product Type 2 – Wafer Cassette - < 2 per day, 2 cassettes per basket, 1.5 hours.

產品類型2–晶片盒- < 2每天,每筐2盒,1.5小時。

Product Type 3 – Magazine – 100 pcs per day, 8 magazines per basket, 5 hours per day.

產品類型3:雜志社,每天100件,每筐8份雜志,每天5小時。

 

Product Type 4 – Trays (JEDEC) – 50 trays per day, 30 trays per basket, 2 hours max. per day.

產品類型4–托盤(JEDEC每天50盤,30盤,每筐,每天2小時最大。

 

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