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設備名稱:真空干燥式全自動超聲波清洗機

設備型號:FWA-850TEK
清洗對象:集成電路芯片
使用廠家:愛普生精密電子 (蘇州)有限公司

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詳細參數 Parameter

FWA-850TEK型清洗機采用最新流行環保水基清洗工藝,具有如下優點。

(1)  設計先進、合理,充分考慮了環保和節能的要求;

(2)  獨特的鋸齒狀四周溢流,清洗區液體干凈,無二次污染;

(3)  采用全封閉式結構,運行部件設計充分考慮防止污染;

(4)  超聲波震動板懸空式安裝配合槽底傾斜式設計,槽體清洗清理方便快捷;

(5)  清洗過程中超聲波+拋動輔助,有效提高清洗效率;

(6)  精巧的等工位移載結構能最大限度地減少輔助運行時間,保正工藝參數實施的準確性;

(7)  多臂機械手提升、橫移均采用導軌導柱導向,定位準確、運行五平穩,流暢;

(8)  升降裝置配有防壓機構,壓籃故障自動?;⒈ň?,使用安全無憂;

 工作機理:

待清洗工件放入料框內,由人工將料框放上入料口,多臂機械臂按PLC指定的程序將料框搬送到相應工位;完成對工件的清洗、漂洗、漂洗、吸引干燥及真空干燥后、送至卸料臺出料。多臂機械手由氣缸橫向驅動,直線滑軌導向;上下提升由馬達驅動,直線導軸導向;采用觸摸屏操作系統,有手動和自動切換開關及有關操作按鈕,能對整個運行過程實行控制。

清洗工藝流程:

工藝名稱

時間(min)

介質

過濾

方式

超聲功率

超聲頻率

使用

溫度

01

超聲清洗

5-8

堿洗劑

循環

1200W

40Khz

60±5

02

超聲清洗

5-8

純水

自循環

1200W

40Khz

常溫

03

超聲清洗

5-8

純水

自循環

1200W

40Khz

常溫

04

超聲清洗

5-8

酸洗劑

循環

1000W

80Khz

60±5

05

超聲清洗

5-8

純水

自循環

1000W

80Khz

常溫

06

超聲清洗

5-8

純水

自循環

1000W

120Khz

80±5

07

吸引干燥

5-8

熱風

循環

-

 

125±5

08

真空干燥

5-8

真空

抽氣

-

-

80±5

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